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Q. 양산기술 포토 공정에서 Stochastic Variation(Shot Noise) 문제해결
양산기술 엔지니어로서도 샷노이즈와 같은 이슈를 FDC 데이터를 분석함으로써 해결하나요? (양산기술 엔지니어는 FDC 데이터를 spotfire나 jmp 같은 분석 툴로 본다고 배웠는데 정확한지 모르겠습니다..!) 아니면 공정 레시피로서 해결할 수 있는 방향성이 있을까요?? 답변 부탁 드립니다. 감사합니다!
2025.12.08
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